Pubblicazioni

Fabrication of novel MEMS microgrippers by deep reactive ion etching with metal hard mask

2017 - JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
Bagolini, Alvise; Ronchin, Sabina; Bellutti, Pierluigi; Chiste, Matteo; Verotti, Matteo; Belfiore, Nicola Pio

Simulation and construction of a mems CSFH based microgripper

2015 - INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICS AND CONTROL
Belfiore, Nicola Pio; Broggiato, Giovanni Battista; Verotti, Matteo; Balucani, Marco; Crescenzi, Rocco; Alvise, Bagolini; Pierluigi, Bellutti; Maurizio, Boscardin

Realization of 3D silicon structures using a DRIE technique

2015 -
Bagolini, A.; Boscardin, M.; Balucani, Marco

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