Laboratorio Tecnologie Microelettroniche

Submitted by Anonimo (not verified) on Fri, 15/04/2022 - 10:41

Ricerche su processi tecnologici per la realizzazione di sensori e attuatori utilizzando tecnologie a film sottile

Struttura:

DIPARTIMENTO DI INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE, ELETTRONICA E TELECOMUNICAZIONI

Attività didattica:

Attività ricerca:

Attività servizio:

Personale docente e di ricerca:

Rita.Asquini@uniroma1.it

alessio.buzzin@uniroma1.it

domenico.caputo@uniroma1.it

Marta.Cavagnaro@uniroma1.it

Antonio.Dalessandro@uniroma1.it

nicola.lovecchio@uniroma1.it

carlo.santini@uniroma1.it

Personale tecnico:

luca.balestreri@uniroma1.it

mario.mannarino@uniroma1.it

massimo.mazzetta@uniroma1.it

Responsabile tecnico :

rocco.crescenzi@uniroma1.it

ERC:

PE7_1

PE8_1

Strumentazioni:

08015 - Bombole

08016 - Bombole

08017 - Bombole

08018 - Frigoriferi, congelatori e celle frigo

08019 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)

08021 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)

Reactive Ion etching

Sputtering

Generatore RF e sistema autoregolante per il plasma

Chiller

Evaporatore Termico Balzer

N.2 linee di medio vuoto con attacchi dislocati nei vari ambienti del laboratorio

Regolamento del laboratorio:

Regolamento_LMTE.pdf

Ubicazione:

Laboratorio Tecnologie Microelettroniche

Altre Informazioni:

Realizzazione e caratterizzazione di dispositivi a film sottili per applicazioni di elettronica a larga area e sensoristica. Esso si articola su diversi locali che ospitano la Strumentazione: Sistema PECVD in UHV per la deposizione di silicio amorfo e silicio carbonio amorfo. Laboratorio depolverizzato con: sistemi di deposizione di film sottili per evaporazione e per sputtering. Sistema RIE; una camera gialla per fotolitografia con fotoplotter e allineatore di maschere. Banchi per misure ottiche (efficienza quantica, assorbimento) ed elettriche (C-V f T, I-V, transienti). Tool di simulazione: ORCAD, COMSOL Multiphysics, CAM 350, AUTOCAD, DIFFIN.

Responsabile:

Antonio.Dalessandro@uniroma1.it

Personale docente e di ricerca (ext):

Francesca Costantini

Martina Baldini

Chimico

Elettronico

Nanotecnologico

Strumentale