Il laboratorio aSiDaS è dedicato alla deposizione di strati silicio amorfo idrogenato (a-Si:H) mediante tecnica di Deposizione Chimica da Vapore Assistita da Plasma (PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Al suo interno è presente la macchina che consente la crescita di materiali di silicio amorfo di tipo p, intrinseco e n sia su substrati rigidi sia flessibili. La deposizione controllata di queste giunzioni è volta alla fabbricazione di dispositivi optoelettronici, come fotodiodi e sensori di temperatura.

The aSiDaS laboratory is dedicated to the deposition of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) layers using the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). It hosts the PECVD system used for the controlled growth of p-type, intrinsic, and n-type a-Si:H junctions on both rigid and flexible substrates. These junctions are deposited as part of the fabrication process for optoelectronic devices, such as photodiodes and temperature sensors.

 

Attività didattica: 
0
Attività ricerca: 
100
Attività servizio: 
0
Personale docente e di ricerca: 
Rita.Asquini@uniroma1.it
alessio.buzzin@uniroma1.it
Domenico.Caputo@uniroma1.it
Antonio.Dalessandro@uniroma1.it
nicola.lovecchio@uniroma1.it
carlo.santini@uniroma1.it
Responsabile tecnico : 
rocco.crescenzi@uniroma1.it
ERC: 
PE7_4
PE7_5
PE7_11
KET: 
Nanoscience, nanotechnology, nanoelectronics, photonics, quantum science and technology
Materials and raw materials
Fabrication, manufacturing, additive manufacturing, rapid prototyping
Strumentazioni: 
Impianto distribuzione gas
08097 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
08098 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
Sistema di Deposzione con Plasma (PECVD)
Impianto di ricircolo aria e acqua
Gas scrubber
PECVD
Ubicazione: 
Laboratorio aSiDaS - Deposizione Silicio amorfo
Responsabile: 
Antonio.Dalessandro@uniroma1.it
Elettronico
Nanotecnologico
Strumentale

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