aSiDaS - Deposizione Silicio amorfo

Descrizione

Il laboratorio aSiDaS è dedicato alla deposizione di strati silicio amorfo idrogenato (a-Si:H) mediante tecnica di Deposizione Chimica da Vapore Assistita da Plasma (PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Al suo interno è presente la macchina che consente la crescita di materiali di silicio amorfo di tipo p, intrinseco e n sia su substrati rigidi sia flessibili. La deposizione controllata di queste giunzioni è volta alla fabbricazione di dispositivi optoelettronici, come fotodiodi e sensori di temperatura.

The aSiDaS laboratory is dedicated to the deposition of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) layers using the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). It hosts the PECVD system used for the controlled growth of p-type, intrinsic, and n-type a-Si:H junctions on both rigid and flexible substrates. These junctions are deposited as part of the fabrication process for optoelectronic devices, such as photodiodes and temperature sensors.

 

Tipologia
Elettronico, Nanotecnologico, Strumentale
Attività
0%
100%
0%
ERC scientific sector
PE7_4, PE7_5, PE7_11
KET
Nanoscience, nanotechnology, nanoelectronics, photonics, quantum science and technology, Materials and raw materials, Fabrication, manufacturing, additive manufacturing, rapid prototyping
Strumenti e attrezzature
Nome Descrizione Servizi Offerti Tipologia
Impianto distribuzione gas N.5 gas cabinets per il contenimento di gas per processi con pannelli di controllo sicurezza per sovrapressioni e/o extraflusso. Bombole
08097 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc) Linea Aria Compressa Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
08098 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc) Linea Azoto Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
Sistema di Deposzione con Plasma (PECVD) Sistema di deposizione per PECVD per silicio amorfo idrogenato e sue leghe composto da: n.1 camera per carico/scarico campione; n.3 camere per processo in UHV ognuna munita di n.4 flussimetri per gas di processo n.2 sistemi per vuoto (Turbo + Roots). Attrezzature principali per la ricerca (piccole/medie/grandi attrezzature)
Impianto di ricircolo aria e acqua Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
Gas scrubber Impianto GAS
Ubicazione
Nome Stanza Edificio Piano
Laboratorio aSiDaS - Deposizione Silicio amorfo RM032 P07, L001
Galleria
PECVD

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