aSiDaS - Deposizione Silicio amorfo

Descrizione

Il laboratorio aSiDaS è dedicato alla deposizione di strati silicio amorfo idrogenato (a-Si:H) mediante tecnica di Deposizione Chimica da Vapore Assistita da Plasma (PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Al suo interno è presente la macchina che consente la crescita di materiali di silicio amorfo di tipo p, intrinseco e n sia su substrati rigidi sia flessibili. La deposizione controllata di queste giunzioni è volta alla fabbricazione di dispositivi optoelettronici, come fotodiodi e sensori di temperatura.

The aSiDaS laboratory is dedicated to the deposition of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) layers using the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). It hosts the PECVD system used for the controlled growth of p-type, intrinsic, and n-type a-Si:H junctions on both rigid and flexible substrates. These junctions are deposited as part of the fabrication process for optoelectronic devices, such as photodiodes and temperature sensors.

 

ERC scientific sector
PE7_4, PE7_5, PE7_11
KET
Nanoscience, nanotechnology, nanoelectronics, photonics, quantum science and technology, Materials and raw materials, Fabrication, manufacturing, additive manufacturing, rapid prototyping
Strumenti e attrezzature
Nome Descrizione Servizi Offerti Tipologia
Impianto distribuzione gas N.5 gas cabinets per il contenimento di gas per processi con pannelli di controllo sicurezza per sovrapressioni e/o extraflusso. Bombole
08097 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc) Linea Aria Compressa Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
08098 - Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc) Linea Azoto Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
Sistema di Deposzione con Plasma (PECVD) Sistema di deposizione per PECVD per silicio amorfo idrogenato e sue leghe composto da: n.1 camera per carico/scarico campione; n.3 camere per processo in UHV ognuna munita di n.4 flussimetri per gas di processo n.2 sistemi per vuoto (Turbo + Roots). Attrezzature principali per la ricerca (piccole/medie/grandi attrezzature)
Impianto di ricircolo aria e acqua Apparecchiature in pressione (compressori, bombole, ecc)
Gas scrubber Impianto GAS
Regolamento del laboratorio:
Ubicazione
Nome Stanza Edificio Piano
Laboratorio aSiDaS - Deposizione Silicio amorfo RM032 P07, L002
Galleria
PECVD

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