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MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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Growth of nanostructured silicon by microwave/nano-susceptors technique with low substrate temperature
pubblicato su:
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING - 2019
Palma F.
, Cattaruzza E., Riello P.
© Università degli Studi di Roma "La Sapienza" - Piazzale Aldo Moro 5, 00185 Roma