La tecnica analitica EBSD - Electron BackScattered Diffraction è dedicata all’analisi di materiali policristallini e monocristallini. Fornisce informazioni correlate alla grana cristallina, alla tessitura, all'orientamento dei cristalli e all'analisi di fase. La tecnica può essere impiegata per identificare e rappresentare lo stato di microdeformazione dei grani indotto dalla presenza di tensioni interne al materiale.
L’elaborazione dei pattern di diffrazione consente di assegnare le informazioni direttamente ai grani in fase di osservazione nel SEM, sovrapponendo in un’unica mappa le informazioni raccolte alla microstruttura osservata.
La tecnica si basa sull’interpretazione dei pattern di diffrazione generati dall'interazione tra il fascio elettronico di una sorgente SEM ed i piani cristallini del campione osservato. Questa interazione complessa porta alla formazione di coni di diffrazione in prossimità dei piani che, rilevati su uno schermo a fosfori, generano bidimensionalmente le caratteristiche bande di Kikuchi le cui direzioni ed ampiezze sono correlabili agli indici di Miller dei piani cristallini che hanno indotto la diffrazione.
Le informazioni che possono essere raccolte ed efficacemente rappresentate in forma di immagine utilizzando l'analisi EBSD e la successiva elaborazione complessa dei risultati acquisiti sono:
- Orientazioni preferenziali e misorientazioni cristallografiche
- Identificazione e mappatura (con diretta sovrapposizione ad immagini acquisite tramite microscopia elettronica) di fasi cristalline,
anche a livello nanometrico.
- Misura di tessitura macro, micro e nanocristallina
- Dimensione e distribuzione della grana cristallina
- Tipi di bordi grano (ad alto o basso angolo)
- Deformazioni e quindi tensioni residue
- Caratterizzazione avanzata di interfacce, anche con fenomeni di epitassia e orientamento preferenziale indotto dal substrato